Lorsque la longueur dans une direction est inférieure à la longueur dans les deux autres directions, cette structure est appelée film mince. De nos jours, l'application continue de films microélectroniques, de films optiques, de films anti-oxydation, de films magnétorésistifs géants, de films supraconducteurs à haute-température, etc. dans la production industrielle et la vie humaine, l'épaisseur des films produits dans l'industrie est un paramètre très important, directement lié à la capacité du matériau du film à fonctionner normalement.
Normalement, l'épaisseur du film fait référence à la distance entre la surface du substrat et la surface du film. En fait, la surface du film est inégale et discontinue, et il y a des trous d'épingle, des microfissures, des filaments de fibres, des impuretés, des défauts de réseau et des molécules adsorbées à la surface. Par exemple, divers films minces dans le processus de production de circuits intégrés à grande échelle auront un impact direct sur les performances des circuits intégrés en raison de l'amélioration continue du degré d'intégration des circuits et de tout léger changement dans l'épaisseur du film mince. De plus, les propriétés mécaniques, les propriétés de transmission de la lumière, les propriétés magnétiques, la conductivité thermique, la structure de surface, etc. des matériaux en couches minces sont étroitement liées à l'épaisseur. Par conséquent, une mesure en ligne précise de l’épaisseur du film dans le processus de production est un moyen important pour garantir la qualité du produit et améliorer l’efficacité de la production.
Pour une mesure précise de l’épaisseur du film, cela dépend du type de capteur d’épaisseur utilisé. À l'heure actuelle, il existe principalement plusieurs méthodes pour la technologie de détection d'épaisseur de film en ligne :
1. La sonde bêta est le premier capteur utilisé pour la détection de couches minces. Il utilise une source de rayonnement bêta comme source de signal et la technologie est mature. Toutefois, une licence pour l'utilisation de sources radioactives est requise et les procédures d'importation et d'exportation sont relativement compliquées. Il existe une limite de demi-vie-de durée de vie et la précision de détection diminuera avec l'atténuation de la source radioactive.
2. Les sondes infrarouges utilisent le principe selon lequel des bandes infrarouges spécifiques sont fortement absorbées dans des films plastiques spécifiques pour mesurer l'épaisseur du film. Le capteur est stable en termes de détection et n'est pas affecté par les changements de l'environnement, mais il est sensible aux changements d'additifs et de couleurs, et il ne convient pas pour fabriquer plusieurs produits sur la même ligne de production.
3. La sonde à rayons X-utilise le tube à rayons X-pour générer des rayons X-comme source de signal pour détecter l'épaisseur du film plastique. Les avantages sont nombreux : vol de matières radioactives ; la faible consommation d'énergie ne nécessite pas de permis ; une large plage de mesure ; haute précision de mesure; tous les types de plastiques peuvent être mesurés sans être affectés par les additifs et les mélanges maîtres de couleur.
À l'heure actuelle, l'instrument de mesure de l'épaisseur du film s'est développé vers une haute précision et une automatisation et a atteint un niveau très élevé. Sa précision de mesure est de ±2 % à ±5 % de l'épaisseur de film mesurée pour la couche de film générale et de ±2 nm pour le film mince, et possède une fonction de mesure de micro-zone, une vitesse de mesure rapide et un degré élevé d'automatisation. Surtout avec les progrès de la technologie et l'application d'instruments de précision, en plus des méthodes technologiques de détection ci-dessus, l'épaisseur du film peut également être mesurée par un capteur à ultrasons. Le capteur à ultrasons MaxBotix recommandé par Gongcai-MB7480 est un télémètre de précision à ultrasons haute performance qui peut fournir une mesure de distance par ultrasons de haute précision et haute résolution dans l'air.
